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広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所は、「センサー・MEMS実践セミナー」を開催します。
半導体微細加工技術を利用してMEMS（微小電子機械システム）デバイスや、センサーデバイスの研究をする方を対象としたチュートリアルな実習です。
基礎コースは露光装置を用いたマイクロ流路の作製、アドバンストコースはマイクロ流路作製後、トランジスタと組み合わせてセンサーとし、水溶液のpH測定を行います。
詳細は、ホームページをご覧ください。
多くの皆様のご参加をお待ちしています。
期間
平成29年1月11日（水）～ 1月13日（金）
場所
広島大学東広島キャンパス ナノデバイス・バイオ融合科学研究所
対象者
大学院生、教員、企業の研究者・技術者
参加費
・基礎コース（1月11日～12日）：無料
・アドバンスト実習コース（1月11日～13日）：3万円
スケジュール
第1日：安全講習、流路設計、流路鋳型形成
第2日：流路形成（Siエッチング＆PDMSへのパターン転写）、MOSFTET貼り付け、設定
第3日：流路付加バイオセンサーによるpH測定
※基礎実習コース（無料）は第2日の流路形成まで、アドバンスト実習コース（有料3万円）はMOSFTETと組み合わせてpH測定まで行います。
お問い合わせ先
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所（担当：田部井哲夫）
