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【受賞】量子物質科学プログラムの松本さんがInternational Symposium on Semiconductor Manufacturing （ISSM）2024　Best Paper Awardを受賞しました

広島大学大学院先進理工系科学研究科　量子物質科学プログラム　博士課程前期2年の松本　響平さんが、International Symposium on Semiconductor Manufacturing （ISSM）2024　Best Paper Awardを受賞しました。
同賞は、東京都で開催されたInternational Symposium on Semiconductor Manufacturing （ISSM）2024において行った発表"Investigation on the Relationship Etching Rate and Photoresist Surface Temperature during Reactive Atmospheric-pressure Thermal Plasma Jet Irradiation"が優秀と認められたため授与されました。（受賞日：2024年12月9日）

 

【量子物質科学プログラムのページ】

【この記事に関するお問い合わせ先】

広島大学大学院先進理工系科学研究科　量子物質科学プログラム（量子半導体工学）　
教授　東　清一郎
TEL：082-424-7655

掲載日 : 2024年12月25日


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