太陽電池やディスプレイに代表される大面積薄膜半導体デバイス及びULSI の高性能化を目指した，薄膜結晶成長技術，絶縁膜低温形成技術，接合形成技術，等の新規プロセス技術とそのデバイス応用に関する研究。

連絡先: sehiga@  /　7655　　居室：406A

新・薄膜構造形成技術の創生とその制御に関する研究，及び量子効果デバイスへの応用。

連絡先: hanafus@  / 7656      居室：405A