ナノデバイス研究所は、半導体デバイスの基盤技術とそれによる新しい学術融合領域を開拓し、これらに関係する教育を行うことを目的として活動しています。本研究所は「ナノ集積科学」、「集積システム科学」、「分子生命情報科学」、「集積医科学」の4つの研究部門で構成され、半導体デバイスの製造プロセス・デバイス構造・設計技術の研究、それらを応用する分野であるAI、通信に関する研究を行うとともに生体を含めたバイオ融合科学の研究に取り組んでおります。

　本研究所は、文部科学省認定の共同利用・共同研究拠点として、東京医科歯科大学，東京工業大学，静岡大学と4大学でネットワーク型拠点「生体医歯工学共同研究拠点」を推進しています。生体医歯工学の共同研究拠点を中核としてバイオ・医療技術との融合研究を発展させていきます。また、文部科学省「マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）」を推進しているとともに、「X-nics 半導体創生拠点形成事業」では「集積Green-niX研究・人材育成拠点」を東京工業大学，豊橋技術科学大学とともに形成しています。さらに、経済産業省から「J-Innovation HUB 地域オープンイノベーション拠点（国際展開型）」に認定されています。これらの事業を通して、半導体産業の発展と人材育成に寄与していきます。

　ナノデバイス研究所は材料物理・化学及び電子・電気・情報・通信工学から、バイオセンシングや医療工学の分野における実践的な研究を希望する大学院生を学内外から広く募集します。また、社会人博士課程学生や客員研究員、留学生や外国人研究員も受け入れており、国際的な活動も含めて社会と幅広い交流を持ちながら勉強できます。